SCP-8400型全自動濕刻腐蝕機設備簡介

發布時間2021-09-09

SCP-8400型全自動濕刻腐蝕機設備簡介

Tool ID	BWWPS02，BWBOE02， BWWNS01
設備名稱	濕刻腐蝕機
規格型號	SCP-8400
生產廠家及進口國	應用材料/美國
啟用日期	2006-7
技術檔案	齊全
最近檢修時間	2021年7月
技術指標	6”芯片腐蝕機
技術狀態	良好
使用環境	無塵潔凈車間

待售3臺：BWWPS02，BWBOE02，BWWNS01

其中：  BWWPS02含2個SPM槽；

BWBOE02含2個槽(HF+H2O2)；

BWWNS01含5個槽(HF+2*H3PO4+SPM+SC1)   

 

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