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刻蝕

Aure1000干法去膠機

發布時間2021-09-09

        Aure1000干法去膠機


設備名稱

干法去膠機

規格型號

         Aure1000

生產廠家及進口國

                     GASONICS/ 美國

啟用日期

2008-5-25

最近檢修時間

20152

PR ER(參考)

              >15KA/M

技術狀態

Offline

使用環境

無塵潔凈車間

待售設備7臺:BEEAS17-20ADEAS02ADEAS05ADEAS06

                                 

                      工作原理


           密封真空腔中加入選配的高純特氣、合適的工作壓力、底部燈絲加熱、輸入一定量的微波電源使

           腔體內的氣體電離,氣體電離后釋放出高能的活性態離子與wafer表層的光刻膠反應而去膠。

                             




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