Aure1000干法去膠機

發布時間2021-09-09

        Aure1000干法去膠機

設備名稱	干法去膠機
規格型號	Aure1000
生產廠家及進口國	GASONICS/ 美國
啟用日期	2008-5-25
最近檢修時間	2015年2月
PR ER(參考)	>15KA/M
技術狀態	Offline
使用環境	無塵潔凈車間
待售設備7臺：BEEAS17-20，ADEAS02，ADEAS05，ADEAS06

                                 

                      工作原理

           密封真空腔中加入選配的高純特氣、合適的工作壓力、底部燈絲加熱、輸入一定量的微波電源使

           腔體內的氣體電離，氣體電離后釋放出高能的活性態離子與wafer表層的光刻膠反應而去膠。

                             

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