AME8330金屬干法刻蝕機
AME8330金屬干法刻蝕機
| 設備名稱 | 鋁刻蝕機 |
| 規格型號 | AME8330 |
| 生產廠家及進口國 | applied/美國 |
| 啟用日期 | 2008-9-25 |
| 最近檢修時間 | 2021年2月 |
| 技術指標 | 刻蝕線寬0.5um |
| ALSICU ER(參考) | 230A/M |
| PR(參考) | >1400A/M |
| 機臺狀態 | 良好 |
| 使用環境 | 無塵潔凈車間 |
| 待售設備3臺：BEMTL03, BEMTL05, BEMTL06
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工作原理
密封真空腔中加入選配的高純特氣、合適的工作壓力、輸入一定量的射頻電源（13.56MHZ）使腔體內的
氣體發生電離，氣體電離釋放出高能的活性態離子與wafer無掩膜的表層膜質反應而刻蝕出需要的圖形。
