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刻蝕

AME8330金屬干法刻蝕機

發布時間2021-09-09

   AME8330金屬干法刻蝕機


設備名稱

鋁刻蝕機

規格型號

AME8330

生產廠家及進口國

applied/美國

啟用日期

2008-9-25

最近檢修時間

20212

技術指標

            刻蝕線寬0.5um

ALSICU ER(參考)

230A/M

PR(參考)

>1400A/M

機臺狀態

良好

使用環境

無塵潔凈車間

待售設備3臺:BEMTL03, BEMTL05, BEMTL06

 

                      

                  工作原理

密封真空腔中加入選配的高純特氣、合適的工作壓力、輸入一定量的射頻電源(13.56MHZ)使腔體內的

氣體發生電離,氣體電離釋放出高能的活性態離子與wafer無掩膜的表層膜質反應而刻蝕出需要的圖形。

                                 


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